[Download] "Mikrosystemtechnik" by Ulrich Hilleringmann # Book PDF Kindle ePub Free
eBook details
- Title: Mikrosystemtechnik
- Author : Ulrich Hilleringmann
- Release Date : January 13, 2008
- Genre: Engineering,Books,Professional & Technical,Science & Nature,
- Pages : * pages
- Size : 6522 KB
Description
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.